Metal Rotary Target
Ortogonale magnetiese en elektriese velde word tussen die sputterteiken (katode) en die anode toegepas.En vul die vereiste inerte gas (gewoonlik Ar-gas) in die hoë vakuumkamer.Onder die werking van 'n elektriese veld word Ar-gas in positiewe ione en elektrone geïoniseer.'n Sekere negatiewe hoë spanning word op die teiken toegepas, die elektrone wat deur die teiken vrygestel word, word deur die magnetiese veld beïnvloed, die ionisasiewaarskynlikheid van die werkende gas neem toe, 'n hoëdigtheidplasma word naby die katode gevorm, en die Ar-ione word beïnvloed. deur die Lorentz-mag.Versnel dan om na die teikenoppervlak te vlieg, en bombardeer die teikenoppervlak teen hoë spoed, sodat die gesputterde atome op die teiken die beginsel van momentumomskakeling volg, vanaf die teikenoppervlak na die substraat vlieg en 'n hoë kinetiese energiefilm neersit.
Ten einde die benuttingstempo van die teikenmateriaal verder te verbeter, word 'n roterende katode met hoër gebruiksdoeltreffendheid ontwerp, en 'n buisvormige teikenmateriaal word vir sputterbedekking gebruik.Die verbetering van sputtertoerusting vereis dat die teiken van 'n plat vorm na 'n buisvorm verander moet word, en die benuttingskoers van die buisvormige roterende teiken kan so hoog as 70% wees, wat grootliks die probleem van lae benutting van die plat teiken oplos.
Produkte se naam | Metaal roterende teiken |
Materiaal | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Warm verkoop grootte | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Kan ook verwerk word volgens die spesifieke vereistes van kliënte |
MOQ | 3 stukke |
Pakket | Gelaagde houtkas |
Toepassing
Sputtering coating is 'n nuwe tipe fisiese damp coating metode.In vergelyking met die verdampingsbedekkingsmetode, het dit ooglopende voordele
in baie aspekte.Metaalspatteikens is in baie velde gebruik.Die hooftoepassing van roterende teiken.
■Sonkragselle
■Argitektoniese glas
■Auto glas
■Halfgeleier
■Platskerm-TV, ens
Bestelinligting
Navrae en bestellings moet die volgende inligting insluit:
☑Teikenspesifikasie ID×OD×L (mm).
☑Hoeveelheid benodig.
☑Kontak ons gerus vir meer spesiale behoeftes.